特氣柜主要應(yīng)用于易燃易爆腐蝕有毒等危害性氣體，特氣柜的外殼上有一個抽風(fēng)管，當(dāng)發(fā)生小量氣體泄露等危險情況時可將此類氣體排出去避免氣體擴散產(chǎn)生更大危險。

特氣輸送系統(tǒng)裝置（特氣柜）

1. 特氣柜的功能設(shè)計

可分為單氣瓶/ 雙氣瓶/ 三氣瓶，氣瓶柜內(nèi)的鋼瓶數(shù)設(shè)計可分為三種：分別為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。

(1) 單鋼瓶的特氣柜設(shè)計通常使用于研究機構(gòu)或?qū)嶒炇业忍貧馐褂命c。工藝制程尚未有量產(chǎn)，氣體使用量小，現(xiàn)場可隨時協(xié)調(diào)停機進行鋼瓶之更換，其優(yōu)點節(jié)省空間、成本低、但需透過日常之管理與協(xié)調(diào)以免中斷工藝制程造成損失。

(2) 雙氣瓶與三氣瓶特氣柜常用于量產(chǎn)工廠，工藝制程不允許停機情況，當(dāng)一支鋼瓶氣體使用完后，另一支備用鋼瓶會自動轉(zhuǎn)為供氣，此兩種形式最大的差別是在purge管路的純化氮氣是以鋼瓶或廠務(wù)端供應(yīng)，當(dāng)purge用的PN2統(tǒng)一由廠務(wù)端來供應(yīng)時，所有特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)不管是否相容，全部連接到同一個供應(yīng)源，會有較高的風(fēng)險值;萬一中央供應(yīng)系統(tǒng)的PN2中斷，警報系統(tǒng)又損壞，恰巧兩種不相容的氣體同時使用purge,此時極有可能發(fā)生爆炸的事件發(fā)生，相同性質(zhì)可使用同一瓶鋼瓶來purge增加的成本及空間非常有限，是一種非常好的應(yīng)變方式。

(3) 三鋼氣柜成本不會差很多安全性會是最好的，只要空間允許應(yīng)最優(yōu)先選擇。

2.操作性設(shè)計：

一般氣瓶柜都設(shè)計有兩個特殊氣體鋼瓶，需自動切換的功能以達到連續(xù)供應(yīng)不斷氣的目的，氣態(tài)氣體通常以壓力感應(yīng)器來計算鋼瓶的剩余量，若是液態(tài)蒸氣壓氣體則以電子磅秤來偵測剩余量，當(dāng)一瓶用完時會切換到另一瓶。

通常換鋼瓶時會執(zhí)行下列幾種Purge:

(a)Pre-purge(換鋼瓶前)

首先將鋼瓶閥關(guān)閉，測試是否有關(guān)緊，用真空產(chǎn)生器將特殊氣體抽出，再用PN2來稀釋管壁內(nèi)的特殊氣體，重復(fù)執(zhí)行充吹的動作將管壁內(nèi)的特殊氣體稀釋干凈，此時即可更換鋼瓶。

(b)Post-purge(換鋼瓶后)

通常以PN2來進行保壓測試，測試鋼瓶接頭是否銜接良好，再利用PN2重復(fù)執(zhí)行充吹的動作來將鋼瓶接頭清潔干凈。

(c)Process purge(用特殊氣體)

直接用特殊氣體來Purge管壁，主要的目的是要將PN2完全的清除讓供氣的品質(zhì)更好，不會因更換鋼瓶而供應(yīng)品質(zhì)受到影響，這個使用否主要根據(jù)客戶需求來。

(d)Hi pressure leak test(高壓測漏)

通常高壓燃燒性氣體會建議使用高壓測漏，因為經(jīng)過高壓測漏更能確保鋼瓶接頭銜接沒問題。

一般鋼瓶更換時機大約是剩余10%的殘留量，但實際上應(yīng)以工藝制程的需求來決定，這樣才會得到最佳的更換時間。再者，鋼瓶都有使用期限，操過使用期限因為部分特殊氣體會對鋼瓶造成為腐蝕，污染氣源。