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在反應室里,氣態(tài)反應物經(jīng)化學反應生成固態(tài)物質(zhì)并沉積在硅片表面...
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隨著我國經(jīng)濟的飛速發(fā)展,科研項目井噴的需求,近幾年特氣用量也...
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CVD(化學氣相沉積法)是傳統(tǒng)的制備薄膜的技術(shù),其中PECV...
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CVD(化學氣相沉積),是半導體工業(yè)中應用最為廣泛的用來沉積多...
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特氣系統(tǒng)是用于保證特種氣體安全使用的系統(tǒng),大致由特氣設(shè)備、特...
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近兩年來,以半導體行業(yè)為焦點,美國頻頻制造“圍剿華為”、發(fā)布...